菁薄膜材料制备原理技术及应用
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作者： 唐伟忠
出 版 社： 冶金工业出版社
出版时间： 1998-5-1字数：版次：页数：印刷时间：开本：印次：纸张：I S B N ： 9787502421519包装： 精装编辑推荐
本书目录简介：第一章薄膜制备的真空技术基础；第二章薄膜的物理气相沉积——蒸发法；第三章薄膜的物理气相沉积——溅射法及其他PVD方法；
