气相沉积应用技术
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品牌: 王福贞
基本信息·出版社：机械工业出版社
·页码：411 页
·出版日期：2007年
·ISBN：7111200659
·条形码：9787111200659
·包装版本：1
·装帧：平装
·开本：16开
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内容简介本书在第1篇中全面阐述了化学气相沉积、物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积的技术基础、技术原理、新的沉积技术、工艺过程、设备配套、膜层质量检测和分析。在第2篇中介绍了气相沉积技术在工模具硬质涂层、防护涂层、光学薄膜、建筑镀膜玻璃、太阳能利用、集成电路制造、信息存储、显示器件、饰品装饰、塑料金属化和柔性基材的卷绕薄膜产品等方面的应用。本书内容丰富新颖，力求紧密联系实际。
本书可供从事气相沉积技术的工程技术人员、科技工作者、在校师生和工人阅读，也可以作为相关专业的参考书。
作者简介王福贞，1960年毕业于北京科技大学(原北京钢铁学院)金相热处理专业，现从北京联合大学机械工程学院退休。教授，北京有突出贡献专家，享受国务院津贴专家。
从1976年至今一直从事物理气相沉积技术的工艺原理探讨、沉积技术和设备研发。先后取得活性反应离子镀膜机、空心阴极离子镀膜机、矩形平面大弧源离子镀膜机、柱形阴极电弧源、阴极电弧源离子渗金属、离子渗氮等多项成果。
1989年与闻立时院士合著《表面沉积技术》。发表论文20余篇。曾任中国真空学会薄膜委员会委员，机械工程学会耐磨、耐蚀委员会委员。
编辑推荐本书是一部关于气相沉积技术的实用专著，全书分气相沉积技术基础及各种气相沉积技术和气相沉积技术应用领域两大部分详细介绍了相关内容，本书适合从事气相沉积技术的工程技术人员、科技工作者及高校相关专业学生学习。
目录
序1
序2
前言
第1篇 气相沉积技术基础及各种气相沉积技术
第1章 气相沉积技术概述
1 气相沉积技术分类
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