电容式微机械陀螺仪设计
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品牌: 李锦明
基本信息·出版社：国防工业出版社
·页码：182 页
·出版日期：2006年
·ISBN：7118045853
·条形码：9787118045857
·包装版本：第1版
·装帧：平装
·开本：32开
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内容简介本书系统地介绍了电容式微机械陀螺的结构设计、基于表面加工wafer级真空封装工艺，着重分析了陀螺仪中闭环自振荡方法、角速率信号解调算法及电路实现，最后对微机械陀螺振荡品质因子、分辨率、工作带宽、灵敏度和线性度等关键参数的测试方法作了详细的分析和阐述。
本书可供高等院校有关专业作为研究生教材或参考书，也可供科研人员和工程技术人员作为技术参考书。
编辑推荐本书系统地介绍了电容式微机械陀螺的结构设计、基于表面加工wafer级真空封装工艺，着重分析了陀螺仪中闭环自振荡方法、角速率信号解调算法及电路实现，最后对微机械陀螺振荡品质因子、分辨率、工作带宽、灵敏度和线性度等关键参数的测试方法作了详细的分析和阐述。
本书可供高等院校有关专业作为研究生教材或参考书，也可供科研人员和工程技术人员作为技术参考书。
目录
第一章绪论
1.1微机械陀螺的技术分类
1.2微机械陀螺的发展现状
1.2.1压电石英陀螺
1.2.2压电陶瓷陀螺
1.2.3硅微机械陀螺
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