东京大学开发大尺寸柔性显示器技术

日经BP社2006年7月4日报道 东京大学利用MEMS（微机电系统）技术开发出了可低成本实现大尺寸柔性显示器的技术（论文编号：95-OMN-A0340）。将透明塑料薄膜与金属薄膜等重叠起来，利用静电力控制其中的2枚薄膜以像素为单位进行结合或分离。利用这种结构，薄膜结合时由于法布里-珀罗干涉（fabry-Perot interference）的作用，只能产生特定波长的光，而分离时则不产生光。由于结构是由柔性薄膜重叠而成，因此可利用卷到卷（roll to roll）方式生产，便于降低成本。

所开发的装置为8层结构，将作为反射膜的铝薄膜和作为隔板的透明树脂板等层叠在厚1mm的玻璃底板上（图1）。其中，铝薄膜还作为施加静电力的电极来使用。法布里-珀罗干涉是指根据由薄膜间距决定的共振频率而输出特定波长光的现象，为了改变薄膜间距，使用了柔软的PEN（聚乙烯萘酚树脂）薄膜。PEN薄膜利用隔板悬浮在下层的铝薄膜上，当它与另一侧的铝薄膜产生电位差时，受静电力的作用就会吸附到铝电极上。不施加静电力时受PEN薄膜张力的作用，就会离开铝电极，而恢复原有的距离。利用静电力的作用控制PEN薄膜和铝电极之间的距离能够以像素为单位来进行，因此能够显示像素。

利用所试制的装置（每个像素为400μm见方）测定了响应速度。结果，从开到关为2.3ms，从关到开为0.7ms（图2）。对于可显示的颜色，虽说绿色能够表现出与CRT相媲美的效果，但蓝色和红色与CRT相比所表现的颜色范围要小一些（图3）。不过，据悉尚有改进的余地。另外，用来产生静电力的电压目前约为100V左右，通过减小PEN薄膜厚度，将来可降低到数V左右。实际上，产生静电力的电压与PEN薄膜厚度的2/3次方成正比，因此通过将PEN薄膜由现在的16μm减小到2μm，预计可将电压降至4.4V。

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