微纳制造(影印版)|报价￥65.70|图书,工业技术,一般工业技术,工程材料学,特种结构材料,杰克逊
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目录：图书,工业技术,一般工业技术,工程材料学,特种结构材料,
品牌：杰克逊
基本信息
·出版社：科学出版社
·页码：699 页码
·出版日：2007年
·ISBN：9787030182432
·条码：9787030182432
·版次：2007年1月第1版
·装帧：平装
·开本：16开 16开
内容简介
纳米技术是当前科学研究与工业开发的热门领域之一。本书全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识，以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术，包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、LiGA技术、薄膜沉积技术、纳加工技术等。
本书内容丰富，讲解透彻，是一本相关领域电子工程师、材料科研工作者开发微纳米材料应用的全面的指南，同时也可作为微纳米机械和微纳米技术专业研究生的参考书。
编辑推荐
纳米技术是当前科学研究与工业开发的热门领域之一。本书全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识，以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术，包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、LiGA技术、薄膜沉积技术、纳加工技术等。
本书内容丰富，讲解透彻，是一本相关领域电子工程师、材料科研工作者开发微纳米材料应用的全面的指南，同时也可作为微纳米机械和微纳米技术专业研究生的参考书。
目录
Preface
1. Principles of Micro-and Nanofabrication
1.1 Introduction
1.2 Material Removal Rates
1.3 Conclusions
1.4 Problems
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