蚀刻:有选择地去除材料的某些部分来形成芯片上各层的电路图案。 离子:产生静电荷的原子或分子。在半导体制造中,离子是改变硅的导电性能的化学杂质的来源。 掩模:在芯片制造过程中使用的掩模就像是模板。在紫外
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