半导体晶圆制造中的设备效率和设备能力

摘要：在半导体制造车间中，设备是非常昂贵的，设备折旧与维修占生产成本组成的最大比重，设备利用率的提高显得尤为重要，因此设备效率和设备能力已成为半导体制造者最关心的问题之一。本文针对该问题，系统地介绍了

中国电子专用设备工业协会的资料显示，2004年中国半导体设备（不含外资在华组装企业）销售额为4.23亿元人民币。SEMI China对2004年中国半导体设备采购额的统计是约224亿元人民币。4.23

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作者：柯德林 一个国家所消费的芯片若只有大约20%为自产，晶圆厂IPO应该不在话下，但事实并非如此。对最近中国领先模拟晶圆厂首次公开发行股(initial public offeri

安捷伦科技（NYSE: A）7日在上海隆重举办了2007安捷伦杯半导体制造技术论文大赛颁奖典礼，特别邀请到产业界、政府界和学术界嘉宾领导与数十位获奖代表共同庆祝本届大赛的圆满成功。大赛秉承了以往历届的

IBM日前宣布了能够支持22nm制程的全套半导体光刻制造工艺解决方案，能够在继续使用当前光刻技术的前提下，满足今起直至2011年前后半导体工业对制程进化的工艺需求。 IBM的新技术成为“

项目背景 上海宏力半导体制造有限公司是一个立足中国，放眼世界，提供卓越生产技术的晶圆制造服务公司。主要的服务对象包含全球之半导体市场，非凡是高速成长中的中国集成电路市场。公司于2000年11月

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从日本，美国，韩国的半导体制造装置企业与半导体制品的生产企业间的商业额同半导体生产产值来看，两者是呈同比例的增涨关系。或许说，如今的半导体制造业已完全被半导体制造装置业所控制。 中国这几

摘要：首先分析了半导体制造中颗粒污染的来源，然后介绍了用C控制图进行颗粒污染控制的方法及其不足，进而提出了用多元回归分析进行颗粒污染控制的方法及实施。 关键词：污染；成品率；C控制图；多元回归